Каталог / Алфавитный список / К / Комплекс средств мониторинга технологической среды полупроводникового производства
Комплекс средств мониторинга технологической среды полупроводникового производства
Цена: по запросу
Комплекс предназначен для реализации многоканального контроля параметров технологической среды полупроводникового производства, диагностики и автоматического принятия управляющих воздействий.
Особенностью комплекса является универсальность архитектуры, гибкость по отношению к конфигурации управляемых объектов, типам измерительных и исполнительных устройств, модульная конструкция, возможность программирования задач по линии связи, широкий диапазон допустимых способов передачи информации.
Область применения - микроэлектроника, фармацевтика, медицина, энергетика, производство особо чистых материалов.
набор объединенных локальной сетью универсальных программируемых логических контроллеров, соединенных с компьютером диспетчера, через стандартный последовательный порт. Каждый контроллер обладает расширяемым (на стадии комплектации) набором каналов контроля (сбора данных) и каналов управления (каналов передачи управляющих воздействий). Наращивание и изменение конфигурации осуществляется в режиме "Plug & Play";
автоматизированное рабочее место диспетчера системы, подключенное к локальной сети предприятия, и реализованные на информационных серверах разделяемая и распределенная база данных;
конечные устройства диагностики - датчики контроля микроклимата (температура, влажность, запыленность), оборотной и высокочистой воды (температура, удельное сопротивление) и анализаторы инертных газов (абсолютная влажность и количество кислородосодержащих примесей);
конечные устройства управления - матрицы исполнительных реле любого типа
Модуль частометра
24 канала - датчики частотного типа. F=0-10 МГц. ам-плитуда 3-15в. 8 каналов - датчики с сигналом лога-рифмического типа. Погрешность не хуже 0.0008 %.
Модуль счетчиков
32 канала, рассчитан на работу с электронными или релейными счетчиками с выходным сигналом 0-32 В
Модуль аналогового измерителя
8 каналов, U вх -5в ... +5в. 1 вх : 4-20 мА. Погрешность не более 0.002 %.
Модуль управления блоками реле
обеспечивает управление матрицей исполнительных реле 8х8 .любого типа с током срабатывания <100 мА. Имеет встроенные средства аппаратного и программного контроля. исключающие возможность ложного срабатывания
Интерфейс
не менее 2 каналов RS232/ RS485 с оптической развязкой и программируемой скоростью передачи 50-115200 бод.
Энергонезависимая память для хранения данных конфигурации системы архивных данных
256 Kb. 8 Mb
Напряжение питания
U вх -220±25% B. 50±5 Гц. U вых -5.12.24В. стабилизированное ± 5 %. P:Јl0 Вт.
БП15Б-Д2 одноканальный блок питания, предназначен для питания стабилизированным напряжением постоянного тока широкого спектра радиоэлектронных устройств (релейной автоматики, контроллеров, датчиков и т. п.) Максимальная выходная мощность 15 Вт.
БП60Б-Д4 импульсный блок питания предназначен для питания стабилизированным напряжением постоянного тока радио и электроаппаратуры. Выходное напряжение стабилизируется с помощью отрицательной обратной связи. Максимальная выходная мощность 60Вт.
Новости компании:
02.03.2013 Приглашаем партнеров и клиентов на выставку электронных компонентов – «Новая Электроника – 2013». Выставка пройдет с 26 по 28 марта 2013 года в Москве в ЦВК «Экспоцентр».
14.10.2012 Поздравляем всех коллег-метрологов со Всемирным днем стандартизации!
18.02.2012 Обновлен раздел каталога Геодезическое оборудование / Нивелиры лазерные. К поставляемой продукции добавлены лазерные нивелиры серии LP.
25.03.2010 К списку предлагаемой ООО "Техком" продукции, добавлена серия течетрассоискателей "Успех" по цене от 5000 рублей.
