ИК фурье - спектрометр ФСМ 1201 П представляет собой специализированный тестер полупроводниковых пластин на основе универсального фурье - спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двух - координатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.
ИК фурье - спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно-признанными стандартами ASTM F 1188 и F 1391, определяющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии и ASTM F 95, определяющим метод измерения толщины эпитаксиальных слоев для структур типа п-п+ или р-р+ и др. Возможно измерение толщины слоев в структурах КНС, определение состава слоев ФСС и БФСС, а также параметров диэлектрических слоев.
Основные области применения:
Химия и нефтехимия.
Анализ сырья и продуктов органического синтеза. Структурно-групповой и фракционный состав нефтепродуктов, контроль содержания бензола. Анализ топлив: эфиры, спирты, ароматика, октановое число.
Полимеры.
Анализ сополимеров, идентификация полимерных композиций. Анализ модифицирующих добавок: пластификаторы, антиоксиданты.
Газовый анализ.
Анализ многокомпонентных газовых смесей. Контроль качества продукции газовой промышленности, анализ состава и влажности природного газ.
Биотехнология и фармацевтика.
Определение подлинности субстанций по ИК-стандартам. Контроль качества лекарственных форм и сырья.
Экологический контроль. Определение нефтепродуктов в воде и почве. Контроль атмосферного воздуха, воздуха рабочей зоны и выбросов промышленных предприятий.
Основные контролируемые параметры.
Концентрация междуузельного кислорода в пределах (5x1015 - 2x1018 ) ± 5x1015 см-3 ;
Концентрация углерода замещения в пределах (1016 - 5x1017 ) ± 1016 см-3 ;
Толщина эпитаксиальных слоев кремниевых структур типа п - п * и р - р * в пределах : (0,5 - 10) ± 0.1 мкм , (10 - 200) ± 1% мкм ;
Концентрация фосфора в слоях ФСС и бора / фосфора в слоях БФСС в пределах (1 - 10) ± 0.2 вес, %.
Технические характеристики
Спектральное разрешение
1 см-1;0,5 см-1
Спектральный диапазон
400-5000 см-1
Фотометрическая погрешность(20 сканов в разрешением 4 см-1)
БП04Б-Д2 блок питания, предназначен для питания стабилизированным напряжением 24В или 36В двух однотипных датчиков с унифицированным выходным токовым сигналом (датчиков давления, влажности и т.д.). Суммарная выходная мощность 4 Вт.
АТТ-1004 анемометр с выносным датчиком для измерения скорости потока воздуха 0,5-20 м/с и интерфейсом RS-232, работающий по принципу охлаждения воздушным потоком нагретой нити, обеспечивает быстрые и точные измерения даже при низком значении скорости движения воздушного потока (от 0,2 м/с).
Новости компании:
02.03.2013 Приглашаем партнеров и клиентов на выставку электронных компонентов – «Новая Электроника – 2013». Выставка пройдет с 26 по 28 марта 2013 года в Москве в ЦВК «Экспоцентр».
14.10.2012 Поздравляем всех коллег-метрологов со Всемирным днем стандартизации!
18.02.2012 Обновлен раздел каталога Геодезическое оборудование / Нивелиры лазерные. К поставляемой продукции добавлены лазерные нивелиры серии LP.
25.03.2010 К списку предлагаемой ООО "Техком" продукции, добавлена серия течетрассоискателей "Успех" по цене от 5000 рублей.
